氬氣作為光譜儀重要的分析條件，對檢測正常使用，結果準確有至關重要的作用，一般要求99.999%純度的氬氣，但在現實中，由于氬氣廠家自己大多都沒有檢測這么高純度的設備，全憑經驗，氬氣廠層次不齊，標注為5個9的氬氣，實際使用可能達不到，我們自己也只能靠檢測過程的各種特征現象分析氬氣是否純度足夠。

(1) 普通氬氣純度一般不會高于四個9,氬氣的的主要功能是對鎢電極保護作用,一般光譜激發時由于瞬間電壓高、電流大,激發溫度都很高,如果氬氣純度不夠，對鎢電極就會損傷，而且一些高溶點的物質如硅等就激發不充分，在金屬表面就會有很多白點，造成檢測數據不準。

(2) 普氬還是不要用，幾個月后就會激發不了樣子了，當然，如果氬氣凈化器是新的，還能多撐一段時間，不過普氬里雜質較多，對光路尤其是透鏡的損壞較大，強烈推薦不用普氬

(3) 氬氣不純，影響最大的是透鏡，導致透鏡污染，影響直讀光譜儀分析譜線；再者激發時聲音表現無力，激發點不充分燃燒，直接影響分析數據，所得數據偏離實際值，不準確。

(4) 高純氬作為火花室保護氣的主體，其純度高才會形成需要的“聚能放電”否則就是所謂的“擴散放電”引起不良的激發。樣品的組織結構越復雜，對氬氣的純度要求就越嚴格。