隨著人們對產品質量的要求越加的要求，制造業對于產生生產流程的監控越加的嚴格，隨著技術的進步，三坐標測量機在制造業得到了廣大喜愛，應用到了廣泛的應用領域中，追求更多的產品質量，對于所用的材料也是越加的好。
      三坐標測量機常常被用于測量產品生產的各種細節上的環節上，通過測量的反饋信息來即使調整機器的參數，測量的精密度和三坐標的性能效果是人們關注的重要問題，而影響這兩者因素的原因，材料占據了很大比例，所以使用材料的要求被人們越加的要求要好，各隨著種新型材料的研究，開發，和應用三坐標測量機的材料也越來越多，性能也越來越好。三坐標測量機使用材料常見的主要有:

　　1、鋁
　　三坐標測量機主要是使用高強度鋁合金。這是近幾年發展最快的新型材料。鋁材料的優點是質量輕、強度高、變形小、導熱性能好，并且能進行焊接，適合作測量機上的許多部件。應用高強度鋁合金是目前的主要趨勢。各國不斷推出新型材料應用于三坐標測量機。美國推出的6000號鋁合金，各項性能都較好。這種材料的最大特點是不易變形，是理想的導軌材料。
　　三坐標測量機結構材料的發展經歷了由金屬到陶瓷、花崗石，再由這些自然材料發展到鋁合金的過程。隨著對精度要求的不斷提高，對材料性能要求也越來越高。可以看出，三坐標測量機的材料向著輕便、變形小、易加工的方向發展。可以相信，隨著國內三坐標測量機材料會不斷改進，三坐標測量機行業的發展會提高到一個新的高度。
　　2、陶瓷
　　陶瓷是近年來發展很快的材料。它是將陶瓷材料壓制成形后燒結，再研磨而得。它的特點是多孔、質量輕（密度約為3g/cm3）、強度高、易加工、耐磨性好、不生銹，適于作Y軸和Z軸導軌。陶瓷的缺點是制作設備造價高、工藝要求也較高，而且毛胚制造復雜，所以使用這種材料的測量機不多。目前德國Zeiss公司、英國LK公司、日本東京精密公司的一些三坐標測量機采用陶瓷材料。
　　3、花崗石
　　花崗石比鋼輕，比鋁重，是目前應用較為普遍的一種材料。花崗巖的主要優點是變形小、穩定性好、不生銹，易于作平面加工，易于達到比鑄鐵更高的平面度，適合制作高精度的平臺與導軌。目前許多三坐標測量機采用這種材料。如Leitz和Zeiss三坐標測量機，大部分采用花崗石材料。國內具有代表性的有青島前哨公司的ZC系列全花崗石固定橋式高精度三坐標測量機。它的基座、工作臺、橋框、各軸導軌、Z軸等全用花崗巖制造。花崗石可用于作工作臺、角尺、立柱、橫梁、導軌、支架、殼體等。由于花崗石的熱膨脹系數小，很適合與氣浮導軌配合。
　　4、鋼
　　鋼主要用于外殼、支架等結構，有的測量機底座也采用鋼。一般采用低碳鋼，而且必須要進行熱處理。鋼的優點是剛性和強度好。它的缺點是容易變形，這是因為鋼在加工之后，內部的殘余應力釋放導致變形。
　　5、鑄鐵
　　鑄鐵是三坐標測量機應用較為普遍的一種材料，主要用于底座、滑動與滾動導軌、立柱、支架、床身等。它的優點是耐磨性好、易于加工、變形小、成本較低、線膨脹系數與多數被測件（鋼件）接近，是早期三坐標測量機廣泛使用的材料。至今在有些測量機上仍主要用鑄鐵材料。但鑄鐵也有缺點：易受腐蝕，耐磨性低于花崗石，強度不高。目前鑄鐵主要用在劃線機等測量機上。現在越來越多地為其它材料（如鋼板焊件、花崗石）代替。但也有些公司，如瑞士的SIP公司認為鑄鐵是較為理想的基座材料，它的線膨脹系數與鋼接近，在整個機器結構中只采用鐵金屬材料可避免復雜變形；鑄件可經過較長時間的自然時效，有利于保持長期穩定性。